高纯炭/炭热场材料
本所研制的用于多晶硅氢化炉及单晶硅晶体生长炉的隔热屏、加热器、坩埚、导流筒等高纯炭/炭热场材料,具有强度高、使用寿命长、纯度高,灰分可达到25ppm以下,金属杂质含量可达到5ppm以下,且无高温挥发物等突出优点。
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高纯炭/炭热场材料
详细信息 高纯炭/炭热场材料 本所研制的用于多晶硅氢化炉及单晶硅晶体生长炉的隔热屏、加热器、坩埚、导流筒等高纯炭/炭热场材料,具有强度高、使用寿命长、纯度高,灰分可达到25ppm以下,金属杂质含量可达到5ppm以下,且无高温挥发物等突出优点。 共0条 相关评论 |