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如何利用真空高效吹扫气体管线中的残留介质
发布时间:2022-11-29        浏览次数:106        返回列表

概要

真空发生器是一种利用正压气源产生负压真空的小型真空元件,广泛用于气体管路吹扫。FITOK真空发生器仅需70 psig进口压力,即可产生60 Torr的真空,效率极高。

◎ 全焊接设计

◎ 内表面粗糙度为 Ra 0.51 μm (20 μin.)

◎ 100%氦气泄漏测试

 

技术数据

  极限真空压力

  60 Torr (-93.3 kPa)

  极限真空压力下的气体压力

  70 psig (4.8 bar)

  极限真空压力下的气体流量

  67 l/min

  工作压力

  132 psig (10 bar)

  工作温度

   0~150°C (32~302°F) 

 

工作演示

在飞托克真空发生器进口端提供一定压力的气体,通过狭窄喷嘴产生加速效应,喷射出高速气流;扩散腔里的气体被高速气流带走,在扩散腔内形成瞬时真空;真空口连接需吹扫的管路,在真空的作用下吸走残余物质,通过出口排出。